型号：XY3-11075-IX83+LS2-1305
• 压电马达驱动，断电自锁，节能稳定，内具刹车功能，无回程间隙
• X轴110mm,Y轴75mm行程和Z轴5mm行程，简洁紧凑型设计
• 光栅反馈，分辨率可选，最小步进可达30nm，重复定位精度可达±150nm
• 可应用于半导体制造，显微技术，表面测量技术，微纳加工，生物和自动化技术
• 厂家直销，一手货源，价格更低，品质更好，货期更短
• 货期与价格请拨打0575-84882698咨询
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型号 |
XY3-11075-IX83xLS2-1305 | ||
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行程（mm） |
110x75x5 | ||
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驱动马达 |
压电马达 | ||
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最大固定负载（KG） |
0.5 | ||
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最大速度（mm/s） |
30x30x10 | ||
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最小步距（nm） |
30 | 100 | |
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重复定位精度（nm） |
±150 | ±300 | |
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位置传感器 |
光栅 | ||
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材质 |
铝合金 | ||
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重量（Kg） |
/ | ||
