标题:VS4-1025T
• 压电马达驱动,断电自锁,节能稳定,内具刹车功能,无回程间隙
• Z轴25mm行程,简洁紧凑型设计
• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达30nm,重复定位精度可达±150nm
• 可应用于半导体制造,显微技术,表面测量技术,微纳加工,生物和自动化技术
• 厂家直销,一手货源,价格更低,品质更好,货期更短
• 货期与价格请拨打0575-84882698咨询
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产品描述
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型号 |
VS4-1025T | ||
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行程(mm) |
25 | ||
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驱动马达 |
压电马达 | ||
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最大负载(KG) |
5 | ||
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最大速度(mm/s) |
0.5 | ||
|
最小步距(nm) |
30 | 100 | |
|
重复定位精度(nm) |
±150 | ±300 | |
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位置传感器 |
光栅 | ||
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材质 |
铝合金 | ||
|
重量(Kg) |
2.5 | ||

产品规格
