型号：XY3-105105-42
• 压电马达驱动，断电自锁，节能稳定，内具刹车功能，无回程间隙
• X轴20毫米和Y轴20毫米行程，简洁紧凑型设计
• 光栅反馈，分辨率可选，最小步进可达100nm，重复定位精度可达+/-300nm
• 可应用于半导体制造，显微技术，表面测量技术，微纳加工，生物和自动化技术
• 厂家直销，一手货源，价格更低，品质更好，货期更短
• 货期与价格请拨打0575-84882698咨询
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| 型号 | XY3-105105-42 |
| 行程（mm） | 105*105 |
| 驱动马达 | 压电马达 |
| 最大负载（KG） | 10 |
| 最大速度（mm/s） | 10 |
| 最小步距（nm） | 100 |
| 重复定位精度（nm） | +/-300 |
| 位置传感器 | 进口光栅 |
| 基体材质 | 铝合金 |
| 重量（KG） | 5.5 |
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