首页    多轴组合/整体式位移台    XY整体式载物台    型号:XY3-105105-42
105105.2-1
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型号:XY3-105105-42

• 压电马达驱动,断电自锁,节能稳定,内具刹车功能,无回程间隙

• X轴20毫米和Y轴20毫米行程,简洁紧凑型设计

• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达100nm,重复定位精度可达+/-300nm

• 可应用于半导体制造,显微技术,表面测量技术,微纳加工,生物和自动化技术

• 厂家直销,一手货源,价格更低,品质更好,货期更短

• 货期与价格请拨打0575-84882698咨询

产品描述

型号 XY3-105105-42
行程(mm) 105*105
驱动马达 压电马达
最大负载(KG) 10
最大速度(mm/s) 10
最小步距(nm) 100
重复定位精度(nm) +/-300
位置传感器 进口光栅
基体材质 铝合金
重量(KG) 5.5

 

产品规格

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