型号:XY3-105105-42
• 压电马达驱动,断电自锁,节能稳定,内具刹车功能,无回程间隙
• X轴20毫米和Y轴20毫米行程,简洁紧凑型设计
• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达100nm,重复定位精度可达+/-300nm
• 可应用于半导体制造,显微技术,表面测量技术,微纳加工,生物和自动化技术
• 厂家直销,一手货源,价格更低,品质更好,货期更短
• 货期与价格请拨打0575-84882698咨询
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产品描述
型号 | XY3-105105-42 |
行程(mm) | 105*105 |
驱动马达 | 压电马达 |
最大负载(KG) | 10 |
最大速度(mm/s) | 10 |
最小步距(nm) | 100 |
重复定位精度(nm) | +/-300 |
位置传感器 | 进口光栅 |
基体材质 | 铝合金 |
重量(KG) | 5.5 |
产品规格