首页    多轴组合/整体式位移台    XY显微镜载物台    型号:XY3-11075

型号:XY3-11075

• 压电马达驱动,断电自锁,节约能量,减少热量产生

• X轴110毫米和Y轴75毫米行程,简洁紧凑型设计

• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达10nm,重复定位精度可达+/-50nm

• 可应用于光学组装,微纳加工,激光,自动化等领域

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产品描述

型号 XY3-11075
行程(mm) 110*75
驱动马达 压电马达
最大负载(KG) 1.0
最大速度(mm/s) 100
最小步距(nm) 50
重复定位精度(nm) +/-200
位置传感器 进口光栅
基本体材质 铝合金
重量(KG) 3.3

产品规格