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探针台

• 压电马达驱动,断电自锁,节约能量,减少热量产生

• 18*18*10行程,简洁紧凑型设计

• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达10nm,重复定位精度可达+/-50nm

• 可应用于光学组装,微纳加工,激光,自动化等领域

产品描述

型号  
行程(mm) 18*18*10
驱动马达 压电马达
最大负载(KG) 0.5
最大速度(mm/s) 30
最小步距(nm) 50
重复定位精度(nm) +/-200
位置传感器 光栅
基本体材质 铝合金
重量(KG) 1

产品规格