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探针台

• 压电马达驱动，断电自锁，节约能量，减少热量产生

• 18*18*10行程，简洁紧凑型设计

• 光栅反馈，分辨率可选，最小步进可达10nm，重复定位精度可达+/-50nm

• 可应用于光学组装，微纳加工，激光，自动化等领域

产品描述

型号  
行程（mm） 18*18*10
驱动马达 压电马达
最大负载（KG） 0.5
最大速度（mm/s） 30
最小步距（nm） 50
重复定位精度（nm） +/-200
位置传感器 光栅
基本体材质 铝合金
重量（KG） 1

产品规格