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探针台
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探针台
• 压电马达驱动,断电自锁,节约能量,减少热量产生
• 18*18*10行程,简洁紧凑型设计
• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达10nm,重复定位精度可达+/-50nm
• 可应用于光学组装,微纳加工,激光,自动化等领域
产品描述
型号
行程(mm)
18*18*10
驱动马达
压电马达
最大负载(KG)
0.5
最大速度(mm/s)
30
最小步距(nm)
50
重复定位精度(nm)
+/-200
位置传感器
光栅
基本体材质
铝合金
重量(KG)
1
产品规格
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