XYR3-202020
• 压电马达驱动，断电自锁，节约能量，减少热量产生
• 20*20*20°行程，简洁紧凑型设计
• 光栅反馈，分辨率可选，最小步进可达100nm ，重复定位精度可达+/-300nm，+/-0.001°
• 可应用于光学组装，微纳加工，激光，自动化等领域
售价：具体价格请拨打电话咨询
• 20*20*20°行程，简洁紧凑型设计
• 光栅反馈，分辨率可选，最小步进可达100nm ，重复定位精度可达+/-300nm，+/-0.001°
• 可应用于光学组装，微纳加工，激光，自动化等领域
售价：具体价格请拨打电话咨询
| 型号 | XYR20-202020 |
| 行程（mm） | 20*20*20° |
| 驱动马达 | 压电马达 |
| 最大负载（KG） | 15 |
| 最大速度（mm/s） | 40 |
| 最小步距（nm） | 100 |
| 重复定位精度 | +/-300nm，+/-0.001° |
| 位置传感器 | 光栅 |
| 基本体材质 | 铝合金 |
| 重量（KG） | 9.5 |
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