首页    多轴组合/整体式位移台    XYR整体式对位台    XYR3-202020

XYR3-202020

• 压电马达驱动,断电自锁,节约能量,减少热量产生

• 20*20*20°行程,简洁紧凑型设计

• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达100nm ,重复定位精度可达+/-300nm,+/-0.001°

• 可应用于光学组装,微纳加工,激光,自动化等领域

售价:具体价格请拨打电话咨询

产品描述

型号 XYR20-202020
行程(mm) 20*20*20°
驱动马达 压电马达
最大负载(KG) 15
最大速度(mm/s) 40
最小步距(nm) 100
重复定位精度 +/-300nm,+/-0.001°
位置传感器 光栅
基本体材质 铝合金
重量(KG) 9.5

产品规格