型号：XYR-202020
• 压电马达驱动，断电自锁，节能稳定，内具刹车功能，无回程间隙
• X轴20毫米,Y轴20毫米行程和Z轴20°行程，简洁紧凑型设计
• 光栅反馈，分辨率可选，最小步进可达30nm，重复定位精度可达±150nm
• 可应用于半导体制造，显微技术，表面测量技术，微纳加工，生物和自动化技术
• 厂家直销，一手货源，价格更低，品质更好，货期更短
• 货期与价格请拨打0575-84882698咨询
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| 型号 | XYR-202020 | |
| 行程（mm） | 20*20*20° | |
| 驱动马达 | 压电马达 | |
| 最大负载（KG） | 10 | |
| 最大速度（mm/s） | 30 | |
| 最小步距（nm） | 30 | 100 |
| 重复定位精度 | ±150nm，±0.001° | ±300nm，±0.001° |
| 位置传感器 | 光栅 | |
| 基本体材质 | 铝合金 | |
| 重量（KG） | 8.5 | |
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