六轴台
• 压电马达驱动,断电自锁,节约能量,减少热量产生
•8毫米行程,简洁紧凑型设计
• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达10nm,重复定位精度可达±50nm
• 可应用于光学组装,微纳加工,激光,自动化等领域
•8毫米行程,简洁紧凑型设计
• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达10nm,重复定位精度可达±50nm
• 可应用于光学组装,微纳加工,激光,自动化等领域
产品描述
| 型号 | 六轴电动位移台 |
| X台行程(mm) | ±12.5 |
| X台最小步距(nm) | 100 |
| X台重复定位精度(nm) | ±300 |
| Y台行程(mm) | ±12.5 |
| Y台最小步距(nm) | 100 |
| Y台重复定位精度(nm) | ±300 |
| Z台行程(mm) | ±10 |
| Z台最小步距(nm) | 100 |
| Z台重复定位精度(nm) | ±300 |
| R台行程(°) | ±5 |
| R台最小步距(°) | 0.0002 |
| R台重复定位精度(°) | ±0.0004 |
| G台行程(°) | ±5 |
| G台最小步距(°) | 0.0002 |
| G台重复定位精度(°) | ±0.0004 |
| 驱动马达 | 压电马达 |
| 最大恒定负载(KG) | 1 |
| 最大速度(mm/s) | 20(开环) |
| 基体材料 | 铝合金 |
| 重量(KG) | 6.4 |
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产品规格

