六轴台

• 压电马达驱动,断电自锁,节约能量,减少热量产生

•8毫米行程,简洁紧凑型设计

• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达10nm,重复定位精度可达+/-50nm

• 可应用于光学组装,微纳加工,激光,自动化等领域

产品描述

型号 六轴电动位移台
X台行程(mm) +/-12.5
X台最小步距(nm) 100
X台重复定位精度(nm) +/-300
Y台行程(mm) +/-12.5
Y台最小步距(nm) 100
Y台重复定位精度(nm) +/-300
Z台行程(mm) +/-10
Z台最小步距(nm) 100
Z台重复定位精度(nm) +/-300
R台行程(°) +/-5
R台最小步距(°) 0.0002
R台重复定位精度(°) +/-0.0004
G台行程(°) +/-5
G台最小步距(°) 0.0002
G台重复定位精度(°) +/-0.0004
驱动马达 压电马达
最大恒定负载(KG) 1
最大速度(mm/s) 20(开环)
基体材料 铝合金
重量(KG) 6.4

 

产品规格