六轴台
• 压电马达驱动,断电自锁,节约能量,减少热量产生
•8毫米行程,简洁紧凑型设计
• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达10nm,重复定位精度可达+/-50nm
• 可应用于光学组装,微纳加工,激光,自动化等领域
•8毫米行程,简洁紧凑型设计
• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达10nm,重复定位精度可达+/-50nm
• 可应用于光学组装,微纳加工,激光,自动化等领域
产品描述
型号 | 六轴电动位移台 |
X台行程(mm) | +/-12.5 |
X台最小步距(nm) | 100 |
X台重复定位精度(nm) | +/-300 |
Y台行程(mm) | +/-12.5 |
Y台最小步距(nm) | 100 |
Y台重复定位精度(nm) | +/-300 |
Z台行程(mm) | +/-10 |
Z台最小步距(nm) | 100 |
Z台重复定位精度(nm) | +/-300 |
R台行程(°) | +/-5 |
R台最小步距(°) | 0.0002 |
R台重复定位精度(°) | +/-0.0004 |
G台行程(°) | +/-5 |
G台最小步距(°) | 0.0002 |
G台重复定位精度(°) | +/-0.0004 |
驱动马达 | 压电马达 |
最大恒定负载(KG) | 1 |
最大速度(mm/s) | 20(开环) |
基体材料 | 铝合金 |
重量(KG) | 6.4 |
产品规格