XY3-5050+RS-100C
• 压电马达驱动，断电自锁，节约能量，减少热量产生
•8毫米行程，简洁紧凑型设计
• 光栅反馈，分辨率可选，最小步进可达10nm，重复定位精度可达+/-50nm
• 可应用于光学组装，微纳加工，激光，自动化等领域
•8毫米行程，简洁紧凑型设计
• 光栅反馈，分辨率可选，最小步进可达10nm，重复定位精度可达+/-50nm
• 可应用于光学组装，微纳加工，激光，自动化等领域
| 型号 | 三轴电动旋转台 |
| X、Y台行程（mm） | +/-25 |
| R台行程（°） | +/-6 |
| 驱动马达 | 压电马达 |
| 最大负载（KG） | 10 |
| 最大速度（mm/s） | 30 |
| X、Y台最小步距（nm） | 100 |
| X、Y台重复定位精度（nm） | +/-200 |
| R台最小步距（°） | 0.0005 |
| R台重复定位精度（°） | +/-0.0005 |
| 基体材料 | 铝合金 |
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