首页    多轴组合/整体式位移台    XYZ(R)组合位移台    型号:XY3-11075xLS2-1505Z组合台

型号:XY3-11075xLS2-1505Z组合台

• 压电马达驱动,断电自锁,节能稳定,内具刹车功能,无回程间隙

• X轴110毫米,Y轴75毫米行程和Z轴5毫米行程,简洁紧凑型设计

• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达50nm,重复定位精度可达+/-200nm

• 可应用于半导体制造,显微技术,表面测量技术,微纳加工,生物和自动化技术

• 厂家直销,一手货源,价格更低,品质更好,货期更短

• 货期与价格请拨打0575-84882698咨询

产品描述

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产品规格