型号：垂直堆叠六轴台
• 压电马达驱动，断电自锁，节能稳定，内具刹车功能，无回程间隙
• X轴50mm,Y轴50mm行程，Z轴20mm行程和G1-3轴±5°行程，简洁紧凑型设计
• 光栅反馈，分辨率可选，最小步进可达30nm，重复定位精度可达±100nm
• 可应用于半导体制造，显微技术，表面测量技术，微纳加工，生物和自动化技术
• 厂家直销，一手货源，价格更低，品质更好，货期更短
• 货期与价格请拨打0575-84882698咨询
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型号 |
垂直堆叠六轴台 | |||||
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XYZ行程（mm） |
50x50x20 | |||||
| G1-3行程（°） | ±5 | |||||
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驱动马达 |
压电马达 | |||||
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最大负载（KG） |
2 | |||||
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最大速度（mm/s） |
20（开环） | |||||
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最小步距（nm） |
30 | 100 | ||||
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重复定位精度（nm） |
±100 | ±200 | ||||
| G1-3最小步距（°） | 0.0002 | |||||
| G1-3重复定位精度（nm） | ±0.0004 | |||||
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位置传感器 |
光栅 | |||||
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材质 |
铝合金 | |||||
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重量（Kg） |
/ | |||||
