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XYR3-202020
• 压电马达驱动,断电自锁,节约能量,减少热量产生
• 20*20*20°行程,简洁紧凑型设计
• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达100nm ,重复定位精度可达+/-300nm,+/-0.001°
• 可应用于光学组装,微纳加工,激光,自动化等领域
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